氣為惰性氣體,，對(duì)人體無(wú)直接損害,。但是,，假如工業(yè)使用后，產(chǎn)生的廢氣則對(duì)人體損害很大,，會(huì)形成眼部損壞等狀況,。雖然是惰性氣體，一起也是窒息性氣體,，大量吸入會(huì)產(chǎn)生窒息,。出產(chǎn)場(chǎng)所要通風(fēng)，而且,，從事與氣有關(guān)的-,，每年定期進(jìn)行職業(yè)病體檢，--,。自身-,，但在高濃度時(shí)有窒息效果。當(dāng)空氣中氣濃度高于33%時(shí)就有窒息的危險(xiǎn),。當(dāng)氣濃度超過(guò)50%時(shí),，呈現(xiàn)--，濃度到達(dá)75%以上時(shí),，能在數(shù)分鐘內(nèi)逝世,。液能夠傷皮膚，眼部觸摸可引起,。
高純-氣高壓低溫冷凝、吸附法是一種--的純化技能,，工業(yè)氧氣,，該技能工藝?yán)暇�,，被廣泛應(yīng)用在高純度高純-氣的提純工藝中。高純氧氣用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積,；作為氧化源和出產(chǎn)高純水的試的劑,；干氧化與四-碳混合用于等離子體蝕刻。應(yīng)留意高純氧氣的安全,，并應(yīng)做好防震,，防火，耐熱和防油等作業(yè),。高純氧氣能夠促進(jìn)燃燒。應(yīng)將其保存在陰涼處,。禁止觸摸煙的花和宜燃材料,。請(qǐng)勿在氧氣計(jì)的螺旋形嘴上放油。
高純氧氣5關(guān)于高純氣體純度要求不同的氣體設(shè)備,，宜選用分級(jí)高純氣體運(yùn)送系統(tǒng),，氧氣廠，也可選用同一級(jí)運(yùn)送系統(tǒng),，但在高純氣體設(shè)備附近設(shè)置終端氣體凈化設(shè)備,。6為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，運(yùn)送系統(tǒng)除應(yīng)配備-的接連檢測(cè)儀器外,，魚缸氧氣,，如水或氧雜質(zhì)含量測(cè)定儀等，還應(yīng)設(shè)置守時(shí)采樣的檢測(cè)取樣口,，以便在規(guī)定的時(shí)刻取樣,，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。
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