由于真空系統(tǒng)的多樣性,,檢漏方法也各式各樣,廠家也設(shè)計(jì)制造了許多專門用于檢漏的儀器真空檢漏儀,。選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),,由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合,為找到一個(gè)單個(gè)漏孔,,氣密檢測(cè)儀設(shè)備,,所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w,,而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13w,;
檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ),,用---氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)---氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀,。---氣檢漏儀特有的清---系統(tǒng),,---地清除超標(biāo)的---本底,---檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性,;實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)---氣壓力和濃度,,---了工件檢測(cè)的精度;檢漏儀設(shè)備內(nèi)芯制造借鑒國(guó)外技術(shù),,具有靈敏度高,,反應(yīng)快,開(kāi)機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn),,是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動(dòng)檢漏儀,。
檢漏儀全無(wú)油的干式檢漏:有些生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件,。檢漏儀是用---氣作示漏氣體,,以氣體剖析儀檢測(cè)---氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。---氣作為一種惰性氣體,,對(duì)設(shè)備無(wú)腐蝕性,,對(duì)容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾小,因此常作為漏氣體使用,。消費(fèi)者在選購(gòu)檢漏儀時(shí)必須要注意這種儀器自身的能力和消費(fèi)的需求,,并且在挑選檢漏儀時(shí)注意這種設(shè)備的價(jià)格和操作模式,
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