隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬,，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍,，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵,。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要,，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用,。

擴(kuò)散噴射泵：它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵,。油增壓泵即屬于這種形式。離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下,，輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵,。氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,，有以下幾種型式,。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑如多孔物質(zhì)的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵