在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的-真空度，因為系統(tǒng)的-真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度,。一般來講,，系統(tǒng)的-真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的-真空度低50%,。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量,。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應，泵系統(tǒng)將被污染,。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量,。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏,�,？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵,。油增壓泵即屬于這種形式,。離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵,。氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內(nèi)表面上,，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式,。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑如多孔物質(zhì)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵