一,、亂流式

 即空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(hepa)進入潔凈室,，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風,。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于潔凈室等級1,，000-100,，000級,。其優(yōu)點是：構(gòu)造簡單,、系統(tǒng)建造成本,，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所,，可并用無塵工作臺,，提高潔凈室等級。

二,、層流式

 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風,，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,，一般其潔凈室等級為class1-100。其型式可分為二種：

1,、水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出,，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，而且塵埃隨風向排出室外,，一般在-側(cè)污染較-,。優(yōu)點：構(gòu)造簡單,，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點：建造費用比亂流式高,，室內(nèi)空間不易擴充,。

2、垂直層流式：房間-完全以ulpa過濾器覆蓋,，空氣由上往下吹,，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵�,？煽焖倥懦鍪彝舛�不會影響其它工作區(qū)域,。優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。

三、復(fù)合式(

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,，可提供局部超潔凈之空氣,。

 主要參數(shù)控制。

 一般空調(diào)側(cè)重溫度,、濕度,、新鮮空氣量和噪聲的控制，而凈化車間的凈化空調(diào)則側(cè)重控制室內(nèi)空氣的含塵量,、風速,、換氣次數(shù)。在溫,、濕度有要求的房間,，溫、濕度也是主要控制參數(shù),。對生物潔凈室而言,，菌含量是主要的控制參數(shù)之一。

2,、空氣過濾手段,。一般空調(diào)有的只有粗效一級過濾，要求較高的是粗效中效兩級過濾處理,。而凈化空調(diào)則要求三級過濾,，即粗、中,、三級過濾,，或粗、中、亞三級過濾,，凈化車間除送風系統(tǒng)有三級過濾外,，為了消除動物的特殊臭味及避免對環(huán)境的污染，在排風系統(tǒng)依據(jù)不同情況尚設(shè)二級過濾或濾毒吸附過濾,。

3,、室內(nèi)壓力要求。一般空調(diào)對室內(nèi)的壓力要求不嚴,。而凈化空調(diào)為了避免外界污染空氣的滲入或不同生產(chǎn)車間不同物質(zhì)的相互影響,，對不同潔凈區(qū)的正壓值均有不同的要求。在負壓潔凈室內(nèi)尚有負壓度的控制要求,。

4,、為了避免被外界污染，凈化空調(diào)系統(tǒng)材料和設(shè)備的選擇,、加工工藝,、加工安裝環(huán)境、設(shè)備部件儲存環(huán)境等,，均有特殊的要求。這區(qū)別于一般空調(diào)系統(tǒng),。

5,、對氣密性的要求。一般空調(diào)系統(tǒng),，對系統(tǒng)的氣密性,、滲氣量雖有要求，但凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求要比一般空調(diào)系統(tǒng)高得多,，其檢測手段,、各工序的標準均有嚴格措施及測試要求。

 干凈空間的溫濕度首先是根據(jù)工藝要求來確定,，但正在滿足工藝要求的條件下,，應(yīng)考慮到人的溫馨度感。跟著空氣干凈度要求的進步,，呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢,。詳細工藝對溫度的要求以后還要列舉，但做為總的本則看,，由于加工精度越來越精細,，所以對溫度顛簸范疇的要求越來越小。

 技術(shù)要求：凈化車間技術(shù)對我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大,，因為它與產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系,。

 例如正在-集成電路消費的光刻-工藝中，做為掩膜板質(zhì)料的玻璃取硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。曲徑100 um的硅片,，溫度上升1度,，就引起了線性膨脹，所以必需有±度的恒溫,，同時要求濕度值一般較低,，因為人出汗以后，對賣得貨將有污染,，出格是怕鈉的半導(dǎo)體車間,，那種車間溫度不宜-25度，濕渡過高發(fā)生的問題更多,。效率也大大提升,，人工完成一個-頭的生產(chǎn)需秒，如今用自動生產(chǎn)線只需秒—秒,，效率提升達%—%,，并且有進一步提升空間。

相對濕度-55%時,，冷卻水管壁上會結(jié)露,，假如發(fā)作正在精細安裝或電路中，就會引起各類事故,。相對濕度正在50%時易生銹,。