無塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,,而得到一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,,稱之為潔凈室,。潔凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染---敏感的行業(yè),,例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù),、生物技術(shù),、精密機械、制藥等行業(yè)等,,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度,、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi),,才不會對制程產(chǎn)生影響,。作為生產(chǎn)設(shè)施,,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
分散式空調(diào)凈化系統(tǒng)通常是指把熱,、濕處理設(shè)備及粗效,、中效及高1效過濾器集中組合在一個箱體內(nèi),分散設(shè)置在潔凈室內(nèi)或鄰近房間,、走廊的空調(diào)凈化系統(tǒng),。有時空調(diào)機組箱體內(nèi)僅有粗效、中效過濾,,但機組有較大的機外余壓可以克服出口處裝置高1效過濾器的阻力,。此外,用裝配式潔凈小室和其他局部凈化設(shè)備潔凈工作臺,、潔凈棚,、自凈器配備一般柜式、箱式,、壁掛小型空調(diào)器構(gòu)成的系統(tǒng)也屬此類,。分散式一般造價較低,變更較靈活,,改造項目更宜于采用。---生產(chǎn)管理規(guī)范---實施指南對此有如下條款,。第2.1.2.5條“對面積較大,、潔凈室較高、位置集中及消聲,、振動控制要求嚴格的潔凈室宜用集中式空氣凈化系統(tǒng),,反之,可用分散式空氣凈化系統(tǒng),。
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