石墨舟鍍膜后硅片會(huì)變色,？分析可能原因：溫度過高或工藝時(shí)間太長(zhǎng)前面提到有些客戶反應(yīng),，新舟直接上去使用沒有問題清洗后容易出現(xiàn)。所以一個(gè)好的鍍舟工藝非常的重要,。正常的鍍舟可以滿足工藝正常生產(chǎn)需要,，鍍舟不足會(huì)造成生產(chǎn)時(shí)工藝的化學(xué)反應(yīng)被石舟吸收造成硅片鍍膜---，吃的太飽”就容易造成硅片的四周發(fā)白,。因?yàn)槲覀兊闹燮�是鏤空的,，硅片的四周是同舟片相接觸的，從而造成四周的生長(zhǎng)速率加快,，石墨舟設(shè)計(jì),，形成片子四周發(fā)白偏白此點(diǎn)建議從鍍舟工藝上調(diào)整。