---顯影光刻十步法:表面準(zhǔn)備—涂光刻膠—軟烘焙—對準(zhǔn)和---—顯影—硬烘焙—顯影目測—刻蝕負膠:聚合物---后會由非聚合態(tài)變?yōu)榫酆蠣顟B(tài),形成一種互相粘結(jié)的物質(zhì),,樟木頭銘牌---顯影,,是抗刻蝕的,大多數(shù)負膠里面的聚合物是聚異戊二烯類型的,,銘牌---顯影廠,,早期是基于橡膠型的聚合物;
正膠:其基本聚合物是-甲醛聚合物,,也稱為-甲醛novolak樹脂,,聚合物是相對不可溶的,在用適當(dāng)?shù)墓饽芰?--后,,光刻膠轉(zhuǎn)變成可溶狀態(tài)銘牌---顯影
---顯影光刻膠的表現(xiàn)要素:
分辨率:resolution capability,、縱橫比-aspect ratio光刻膠厚度與圖形打開尺寸的比值、正膠一般比負膠有更高的縱橫比;
粘結(jié)能力:負膠的粘結(jié)能力通常比正膠強一些,;
---速度,、靈敏性和---源:反應(yīng)速度越快,在光刻蝕區(qū)域晶圓的加工速度越快,;靈敏性是與導(dǎo)致聚合或者光溶解發(fā)生所需要的能量總和相關(guān)的,;波長越短的射線能量越高;
銘牌---顯影提供一種---顯影的方法,銘牌---顯影服務(wù),,包括如下步驟:
粗拋步驟:裝上拋光風(fēng)輪利用廢砂片把風(fēng)輪表面修復(fù)平整,,把青蠟打到修復(fù)平整的風(fēng)輪上,把需要拋光的產(chǎn)品反面向下放在拋光治具上進行拋光作業(yè),;
---顯影工藝,,銘牌---顯影加工,包括以下步驟:
a),,將基板進行清洗,,在清洗后的基板表面涂布感光材料;
b),,將涂布后的基板進行預(yù)烤,,在預(yù)烤后的基板表面再次涂布感光材料;
銘牌---顯影
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