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由于許多真空應(yīng)用僅可在一定的壓力范圍內(nèi)進(jìn)行,所以能夠準(zhǔn)確且-測(cè)量總壓在實(shí)際應(yīng)用中十分重要,。系列有效測(cè)量并控制真空系統(tǒng)中的總壓,,全新添加的數(shù)字式信號(hào)輸出功能,可以讓其實(shí)現(xiàn)---且的數(shù)據(jù)傳輸,。與模擬測(cè)量方法相比,,能夠無(wú)損無(wú)誤地傳遞用于過(guò)程控制和記錄的測(cè)量數(shù)據(jù),得到準(zhǔn)確的結(jié)果,。
系列產(chǎn)品配備m12插接頭,使該真空計(jì)即使在嚴(yán)苛工藝環(huán)境中也可使用,。真空規(guī)還可與hipace@渦輪分子泵和inficon真空其他產(chǎn)品一起在通信網(wǎng)絡(luò)中運(yùn)行,。在配件方面,現(xiàn)已有profibus-dp,、devicenet或帶兩個(gè)開(kāi)關(guān)點(diǎn)和一個(gè)lcd顯示器的附加模擬輸出設(shè)備可供選擇
為應(yīng)對(duì)不斷變化的市場(chǎng)需求,,該系列 很近新增了更多選配件。
此前,,該系列真空規(guī)僅配備rs-485接口,而現(xiàn)在,,還配有工業(yè)以太網(wǎng)接口profinet和ethercat,。與傳統(tǒng)現(xiàn)場(chǎng)總線相比,它們具有數(shù)據(jù)傳輸速率---,、接入設(shè)備---更多的優(yōu)點(diǎn),,因而能夠幫助企業(yè)加速實(shí)現(xiàn)工業(yè)4.0目標(biāo)。profinet和ethercat接口此外,,除了此前采用模擬輸出的版本,現(xiàn)還配有電容式真空規(guī)cct,。該真空計(jì)擁有不受氣體種類(lèi)影響和測(cè)量精度高的優(yōu)勢(shì),,并可用于鍍膜過(guò)程的準(zhǔn)確過(guò)程控制、冷凍干燥或校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室,。
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真空計(jì)的分類(lèi)及原理
真空計(jì)vacuumgauge,,又稱(chēng)真空規(guī),是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般利用不同氣壓下的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)壓的測(cè)量,。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用,。按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計(jì)分為三大類(lèi),,分別是利用力學(xué)性能,,利用氣體動(dòng)力學(xué)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)bourdon和薄膜電容規(guī),;利用氣體力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(pirani)電阻規(guī)和電熱偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。
1,、波爾登規(guī)bourdon2、薄膜電容規(guī)3,、皮拉尼規(guī)4,、熱電偶規(guī)5、熱陰極電離規(guī)6,、冷陰極電離規(guī)
真空計(jì)工作原理、工作特性及使用熱偶真空計(jì)是利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),,元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì),。一,、熱偶真空計(jì)工作原理熱電偶真空計(jì)的構(gòu)造如圖1所示,,氣體分子承擔(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓強(qiáng)成正比是熱電偶真空計(jì)的工作原理。
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依照真空計(jì)測(cè)量基本原理所利用的差異的物理學(xué)體制,,可將具體的真空計(jì)分成三大類(lèi),,分別是利用物理性能,inficon真空計(jì)控制器方案,,利用汽體動(dòng)力學(xué)模型和利用自由電子作用的真空計(jì),。利用物理性能的真空計(jì)典型性的有波爾登規(guī)bourdon和薄膜電容規(guī);利用汽體結(jié)構(gòu)力學(xué)效用的典型性真空計(jì)有皮拉尼(pirani)電阻器規(guī)和電加熱偶規(guī),;利用自由電子作用的典型性真空計(jì)有熱陰極水解規(guī)和冷陰極電離規(guī),。
1、波爾登規(guī)bourdon2,、薄膜電容規(guī)3、皮拉尼規(guī)4、熱電阻規(guī)5,、熱陰極水解規(guī)6,、冷陰極水解規(guī)
真空計(jì)原理、工作中特點(diǎn)及應(yīng)用熱偶真空計(jì)是運(yùn)用熱電阻的電勢(shì)差與加溫部件的溫度相關(guān),,元器件的溫度又與氣體的導(dǎo)熱相關(guān)的基本原理來(lái)準(zhǔn)確測(cè)量真空值的真空計(jì),。熱偶真空計(jì)原理熱電阻真空計(jì)的結(jié)構(gòu)如下圖1所顯示,氣體分子結(jié)構(gòu)擔(dān)負(fù)的導(dǎo)熱量與氣體壓強(qiáng)正相關(guān)是熱電阻真空計(jì)的原理,。
熱電阻真空計(jì)的結(jié)構(gòu)圖金屬材料圓桶內(nèi)部結(jié)構(gòu)配有一根燈絲,兩邊聯(lián)接電級(jí),,插電后燈絲會(huì)發(fā)燙,。燈絲的卡路里會(huì)根據(jù)氣體分子結(jié)構(gòu)撞擊燈絲、輻射熱和固態(tài)導(dǎo)熱等方法被搶走,。設(shè)單位時(shí)間內(nèi)以以上三種方法搶走的-量各自為qg,、qr、qs,,則平衡狀態(tài)下下列公式計(jì)算創(chuàng)立:式中q———單位時(shí)間燈絲釋放的-量,;r———燈絲的電阻器;i———燈絲的電流量,。
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