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分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護網(wǎng),,以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。抽氣系統(tǒng)裝有單獨粗抽管路的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)的操作方法與擴散泵抽氣系統(tǒng)相似,。在開始粗抽以前,,高真空閥和粗抽閥是關(guān)著的,而前級管道閥是打開的,。首先關(guān)閉前級閥,,啟動粗抽泵兼前級泵,打開粗抽閥開始對真空室進行抽氣。在真空室內(nèi)的壓力降到150~100pa時關(guān)閉粗抽閥,,打開前級管道閥,,再啟動渦輪分子泵需先接通冷卻系統(tǒng)。
如果分子泵入口處裝有液氮冷阱,,則應(yīng)在泵加速到額定轉(zhuǎn)速后一般需5~10min加注液氮,。1-渦輪分子泵;2-液氮冷阱,;3-放氣閥,;4-電離規(guī);5-熱傳導(dǎo)規(guī),;6-粗抽閥,;7-機械泵;8-前級管路閥,;9-高真空閥,。圖1 典型渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)粗抽系統(tǒng)的配置隨真空室的容積大小而有所不同。對500l/s或更小的渦輪分子泵來說,,可采用一臺雙級旋片泵,;1000l/s以上的渦輪分子泵則采用以機械泵為前級泵的羅茨泵機組。
在壓力為100到150pa時關(guān)閉粗抽閥,,把真空室切換到渦輪分子泵上,。對某些泵,這樣做會引起輕微而滯后的瞬時減速,,但這對抽氣并無影響,。正如擴散泵抽氣系統(tǒng)那樣,渦輪分子泵系統(tǒng)中的很主要的物質(zhì)是水蒸氣,,其臭氣時間將受液氮冷阱抽速的支配,。如果不用液氮冷阱,那么這個系統(tǒng)抽除水蒸氣的速度就會比同樣抽速的無冷阱擴散泵略慢一些,。
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用技術(shù)加持的渦輪分子泵可以滿足更為苛刻的工作環(huán)境要求,,尤其是在需要---振動和靜音的應(yīng)用中,,ulvac分子泵維修升級,該系列渦輪分子泵可以---提升用戶體驗,。采用這項技術(shù)的相關(guān)真空泵非常適合用于質(zhì)譜分析,、電子顯微術(shù)、檢漏儀和殘余氣體分析系統(tǒng)等對振動敏感的應(yīng)用,。以電子顯微鏡為例:由于高真空法蘭的振動很---~20nm,,導(dǎo)致高倍率下的圖像模糊不清;而集成了這款渦輪分子泵之后,振動變得---~5nm,,使電子顯微鏡能夠獲得更高分辨率的圖像,。
電子顯微鏡的兩幅圖像對比:配備了渦輪分子泵右比未配備渦輪分子泵左時的圖像要更清晰
高度---的新型渦輪分子泵
除了應(yīng)用更---的技術(shù)之外,也承襲了真空渦輪分子泵安全,、---,、抗老化,、重量輕,、體積小巧等一系列優(yōu)點。
·在控溫方面,,渦輪分子泵配備集成傳感器,,集成的轉(zhuǎn)子溫度測量功能可---始終發(fā)揮很佳性能,保障其---運行安全性,。
·在軸承方面,,的混合軸承由兩部分組成:前級真空側(cè)運用耐溫高、轉(zhuǎn)速高且---的油潤滑式陶瓷球軸承,,而高真空側(cè)則使用靈活,、抗壓強的永磁徑向軸承。堅固---的軸承材料讓系列渦輪分子泵具備更高---性,。
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鑒定-了公司的技術(shù)研發(fā),、制造工藝以及檢測能力,,公司在科技部02專項“---規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”——《磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化》重大專項研制成果基礎(chǔ)上,成功研制新一代智能化,、一體化的磁懸浮分子泵,。經(jīng)過質(zhì)詢和討論,鑒定很終鑒定意見為:公司研制的磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品為國內(nèi)首臺套,,具有自主---,,主要性能指標(biāo)達到水平,取得了---的經(jīng)濟及社會效益,,建議進一步推廣應(yīng)用,。
作為中國真空技術(shù)者,公司始終以“---科學(xué)儀器,,發(fā)展企業(yè)”為使命,,以電子光學(xué)和真空技術(shù),打造科學(xué)儀器設(shè)備及裝備制造---,,在“---”規(guī)劃的新征程,,立足新發(fā)展階段、堅持新發(fā)展理念、構(gòu)建新發(fā)展格局,,為強化---科技力量,、實現(xiàn)科技自立自強做出新的貢獻。
操作注意事項不能在前級泵工作時前級管道接通和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉,,否則將會使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端,。分子泵系統(tǒng)在停機充干燥氣體前,一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉,,且要從泵的高真空端充氣,。決不能從泵的前級管路進行充氣。選擇抽氣系統(tǒng)前級泵的大小時,,應(yīng)使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下,。不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運轉(zhuǎn)。
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