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分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,真空泵葉片,,尤其是濺射,、刻蝕和lcvd等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng),。
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盤(pán)式牽引級(jí)是在平板圓盤(pán)平面上按一定規(guī)律開(kāi)出數(shù)條型線溝槽,,然后將數(shù)塊圓盤(pán)串接起來(lái)構(gòu)成,型線有阿基米德螺線,、對(duì)數(shù)螺線,、圓弧線等。抽氣時(shí)靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤(pán)對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”,,使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動(dòng),,從而達(dá)到抽氣目的。
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由于水環(huán)泵被用來(lái)抽除或含塵含水的氣體,在工作時(shí)只要向泵體中裝有適量的水作為工作液可以按照當(dāng)葉輪按圖中指示的方向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)水會(huì)被葉輪拋向四周,,在離心力的作用下水液又可以形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)而且正是因?yàn)樗h(huán)的上部分內(nèi)表面與葉輪輪轂相切并且下部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸,。
泉州真空泵-龍籌真空泵系統(tǒng)配件-真空泵油過(guò)濾器由廈門(mén)龍籌機(jī)電有限公司提供。廈門(mén)龍籌機(jī)電有限公司位于福建省廈門(mén)市思明區(qū)嘉禾路295號(hào),。在市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)的浪潮中拼博和發(fā)展,,目前龍籌機(jī)電在真空泵中享有---的聲譽(yù)。龍籌機(jī)電取得---商盟,,標(biāo)志著我們的服務(wù)和管理水平達(dá)到了一個(gè)新的高度,。龍籌機(jī)電全體員工愿與各界有識(shí)之士共同發(fā)展,共創(chuàng)美好未來(lái)。
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