青島賽爾微電子有限公司為您提供擴(kuò)散爐爐體 lpcvd改造 設(shè)備翻新,。爐體主要用于半導(dǎo)體、功率器件,、集成電路等行業(yè)中管式擴(kuò)散爐的加熱裝置,，采用---的加工工藝，并選用進(jìn)口材料,，制作而成,。可與美國(guó)tempress,、美國(guó)tyan,、美國(guó)thermco、荷蘭asm,、英國(guó)btu,、日本tel等國(guó)外多種型號(hào)擴(kuò)散爐配套替代進(jìn)口，
爐體技術(shù)指標(biāo)
1.1滿足3"～12"立式,、臥式擴(kuò)散爐
1.2保溫材料：英國(guó)摩根進(jìn)口保溫層
1.3絕緣材料：高純99瓷絕緣子
1.4端口：真空成型保溫材料
1.5加熱段數(shù)：3～7段加熱
1.6口徑：φ80mm～φ450mm
1.7使用溫度：200℃～1300℃
1.8恒溫區(qū)：100～1200mm
1.9單點(diǎn)穩(wěn)定性: ≦±0.5℃／24h

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