北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司為您提供磁控濺射鍍膜機(jī)。1.設(shè)備簡介
該設(shè)備是一款小型磁控濺射鍍膜儀,，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小,，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，對(duì)實(shí)驗(yàn)室供電要求低,；該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者------的配置,，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到---地保障,。
該設(shè)備標(biāo)配2只φ2英寸永磁靶，一臺(tái)500w直流濺射電源用于濺射金屬導(dǎo)電材料,，1臺(tái)300w全自動(dòng)匹配射頻濺射電源用于濺射絕緣材料,，主要用來開發(fā)納米級(jí)單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜以及絕緣膜等,。
2.主要技術(shù)參數(shù)
2.1 腔室尺寸：ф246×228mm,，1cr18ni9ti---不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接,；
2.2 樣品臺(tái)尺寸：ф100mm,，高度：60～120mm可調(diào)，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào),；可加熱至300℃,；
2.3 真空系統(tǒng)：機(jī)械泵trp-12,3l/s+進(jìn)口pfeiffer分子泵(hipace80,67l/s)；gdc-25b電磁擋板閥,，dn63mm 限流閥,；
2.4 -真空：8.0×10-5pa,；
2.5 真空抽速：---～8×10-4pa ≤ 30min；
2.6 真空測量：全量程復(fù)合真空計(jì),，測量范圍：105pa～10-5pa,；
2.7 磁控靶：φ2英寸2只含靶擋板，兼容直流電源和射頻電源,；
2.8 濺射電源：1臺(tái)500w直流濺射電源和1臺(tái)300w全自動(dòng)匹配射頻電源,；
2.9 流量計(jì)：進(jìn)口20sccm、50sccm流量控制器各一套,；
2.10 膜厚控制系統(tǒng)：進(jìn)口inficon sqm-160單水冷探頭,，精度0.1 選配；
2.10控制方式：plc+觸摸屏智能控制系統(tǒng),，具備漏氣自檢與提示,、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能,；
2.11設(shè)備外形：l60cm×w60cm×h96cm機(jī)電一體化機(jī)架,，預(yù)留1個(gè)cf35法蘭接口；
2.12 設(shè)備供電總功率≤2kw,，220v,，單相三線制一火一零一地；
2.13 冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4mpa,，水溫10～25℃,，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水；
3.設(shè)備主要配置表
真空腔室 ф246×228mm,，1cr18ni9ti---不銹鋼
分子泵 進(jìn)口pfeiffer分子泵
前級(jí)泵 機(jī)械泵,，北儀優(yōu)成
真空規(guī) 全量程真空規(guī)，上海玉川
濺射靶 ф2英寸永磁靶2支含靶擋板,，維意真空
濺射電源 500w直流濺射電源1臺(tái),，300w全自動(dòng)匹配射頻電源1臺(tái)
流量計(jì) 20sccm/50sccm進(jìn)口warwick
控制系統(tǒng) plc+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套，維意真空
冷水機(jī) lx-300,，維意真空
前級(jí)閥 gdc-25b電磁擋板閥1套,，維意真空
旁路閥 gdc-25b電磁擋板閥1套，維意真空
限流閥 dn63mm一套,，維意真空
充氣閥 φ6mm,，電磁截止閥1套，維意真空
放氣閥 φ6mm,，電磁截止閥1套,，維意真空
基片臺(tái) ф100mm，高度：60～120mm可調(diào),，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào),，可加熱至300℃,，維意真空
膜厚監(jiān)控儀 進(jìn)口inficon sqm-160單水冷探頭，精度0.1 選配
真空管路 波紋管,、真空管道等1套,，維意真空
設(shè)備機(jī)架 機(jī)電一體化，維意真空
預(yù)留接口 cf35法蘭一個(gè),，維意真空
備件 cf35銅墊圈及氟密封圈全套等,，維意真空

4.設(shè)備主要優(yōu)勢
4.1 實(shí)用性：
4.1.1 設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊,，占地面積小,，可以放置于實(shí)驗(yàn)桌面上即可；
4.1.2通過更換設(shè)備上下法蘭可以實(shí)現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換,，實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用,；
4.2 方便性：
4.2.1 設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單,，既---了設(shè)備使用方便又---了設(shè)備的整潔性,；
4.2.2 設(shè)備可將主機(jī)置于手套箱內(nèi)，水,、電,、氣等通過4個(gè)kf40接口接到手套箱外，與手套箱的對(duì)接靈活方便,；
4.2.3 設(shè)備工作電壓為220v,，整機(jī)功率小于2kw，對(duì)實(shí)驗(yàn)室的供電要求低,；
4.3 穩(wěn)定性：
4.3.1設(shè)備主要零部件采用進(jìn)口或---知---,，---了設(shè)備的及穩(wěn)定性；
4.4 ---性：
4.4.1 獨(dú)立開發(fā)的plc+觸摸屏智能操作系統(tǒng),，具有智能控制模式和調(diào)試維修模式,；
4.4.2 控制系統(tǒng)具備漏氣自檢與提示功能，當(dāng)設(shè)備漏氣時(shí),，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)提示設(shè)備漏氣，以便用戶進(jìn)行檢漏,，---設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行,；
4.4.3 控制系統(tǒng)具備保養(yǎng)維護(hù)提示功能，當(dāng)設(shè)備運(yùn)行達(dá)到一定時(shí)長,，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)提示設(shè)備需要維護(hù)保養(yǎng),，以便用戶及時(shí)進(jìn)行維護(hù)，---設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行,；
4.4.4 控制系統(tǒng)具備通訊故障自檢功能,，系統(tǒng)對(duì)分子泵,、濺射電源、真空規(guī),、電機(jī),、流量計(jì)等部件的通訊進(jìn)行自檢，如果某個(gè)部件出現(xiàn)故障,，可以按照系統(tǒng)中的各部件故障查詢辦法進(jìn)行查詢,，及時(shí)確認(rèn)故障原因，---設(shè)備安全,；
4.4.5 控制系統(tǒng)具備數(shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出功能,，控制系統(tǒng)記錄設(shè)備的操作記錄及鍍膜過程數(shù)據(jù)，可以在系統(tǒng)中查看這些數(shù)據(jù),，也可以用u盤導(dǎo)出這些數(shù)據(jù),；
4.4.6 該系統(tǒng)具備三個(gè)等級(jí)級(jí)密碼保護(hù)功能，不同等級(jí)不同使用權(quán)限,，---設(shè)備的安全性和數(shù)據(jù)的保密性,；
5.設(shè)備安裝條件用戶自備
5.1 供電要求
5.1.1 設(shè)備供電總功率≤2kw，220v,，單相三線制一火一零一地,；
5.1.2 插座距離設(shè)備尺寸≤2m；
5.1.3 其它：如用戶選配冷卻循環(huán)水機(jī)或其它選購件,，用戶自行準(zhǔn)備增配件的供電要求,，不在安裝條件范圍內(nèi)；
5.2供水要求
5.2.1 設(shè)備需水冷的部件有磁控靶,、膜厚儀探頭如選配膜厚控制系統(tǒng),；
5.2.2 水壓0.2～0.4mpa，水溫10～25℃,；
5.3安裝場地大小要求
設(shè)備尺寸為：長×寬: l60cm×w60cm,，建議安裝場地尺寸***l60cm×w80cm。
5.4 其他要求
5.4.1 環(huán)境溫度：5～40℃,；
5.4.2 環(huán)境濕度：＜85%r.h,；
5.4.3 室內(nèi)無大量塵埃，無腐蝕性,、易燃易爆氣體,；
6.設(shè)備服務(wù)承諾
尊敬的客戶：
首先感謝您對(duì)我們公司產(chǎn)品的---！
我公司本著“以合理的價(jià)格,、完善的服務(wù),、提供---質(zhì)的產(chǎn)品”的宗旨向您鄭重承諾：
6.1 售后服務(wù)承諾
6.1.1 產(chǎn)品質(zhì)保期為一年；
6.1.2 在質(zhì)保期---方將免費(fèi)維修和更換因設(shè)備原因造成的零部件損壞；
6.1.3 在質(zhì)保期外設(shè)備零部件的損壞,，提供的配件只收成本費(fèi),；
6.1.4 質(zhì)保期內(nèi)或質(zhì)保期外如設(shè)備出現(xiàn)故障，供方接到用戶的正式通知含電話或郵件通知后,，我公司---于-,，趕到技術(shù)服務(wù)現(xiàn)場并開始維修。
6.2驗(yàn)收
6.2.1 我公司負(fù)責(zé)將設(shè)備初驗(yàn)收合格后,，包裝好免費(fèi)運(yùn)送至客戶所在地,，經(jīng)檢驗(yàn)后拆封，供方開始安裝調(diào)試,，運(yùn)輸費(fèi)用及安裝調(diào)試費(fèi)用我司負(fù)責(zé),；
6.2.2 我公司根據(jù)客戶要求，負(fù)責(zé)組織人員對(duì)設(shè)備進(jìn)行安裝調(diào)試,，客戶需提供基本的安裝條件和專人配合,，以---安裝調(diào)試的順利進(jìn)行；
6.2.3 設(shè)備安裝調(diào)試---后,，雙方組織驗(yàn)收,，并對(duì)驗(yàn)收單進(jìn)行驗(yàn)收簽字；
6.2.4 我公司向客戶提供的設(shè)備資料包括：設(shè)備說明書,、驗(yàn)收單,、裝箱單、產(chǎn)品合格證,、備品備件清單,；
6.2.5 我公司在客戶安裝現(xiàn)場進(jìn)行的設(shè)備驗(yàn)收發(fā)生的一切費(fèi)用由我司承擔(dān)；
6.3培訓(xùn)
6.3.1 我公司派技術(shù)---對(duì)客戶人員在設(shè)備安裝調(diào)試時(shí)進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn),。使需方人員能掌握有關(guān)設(shè)備的使用,、維護(hù)，達(dá)到能獨(dú)立進(jìn)行操作,、維護(hù)等的目的,。
6.3.2 培訓(xùn)地點(diǎn)為客戶設(shè)備使用現(xiàn)場，培訓(xùn)人數(shù)不少于2人,，培訓(xùn)時(shí)間根據(jù)實(shí)際情況而定,，培訓(xùn)費(fèi)用由我司承擔(dān)。
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