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氣體傳感器說明人們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)sno2,、zno、fe2o3,、cr2o3,、mgo、nio2等材料都存在氣敏效應(yīng),。用這些金屬氧化物制成的氣敏薄膜是一種阻抗器件,，氣體分子和敏感膜之間能交換離子，發(fā)生還原反應(yīng),，引起敏感膜電阻的變化,。作為傳感器還要求這種反應(yīng)必須是可逆的，即為了消除氣體分子還必須發(fā)生一次氧化反應(yīng),。傳感器內(nèi)的加熱器有助于氧化反應(yīng)進(jìn)程,。


氣體傳感器闡述按計算，在sno2中加入3～5％的tho2,，5％的sm2．在600℃的h2氣氛中燒結(jié),，制成厚膜器件，工作溫度為400℃,。則可作為co檢測器件,。上圖右圖是燒結(jié)溫度為600℃時氣敏器件的特性。可看出,，工作溫度在170～200℃范圍內(nèi),，對h2的靈敏度曲線呈拋物線，而對co改變工作溫度則影響不大,，因此,，利用器件這一特性可以檢測h2。而燒結(jié)溫度為400℃制成的器件,，工作溫度為200℃時,，對h2、co的靈敏度曲線形狀都近似呈直線,，但對co的靈敏度要高得多,，可以制成對co敏感的氣體傳感器。


氣體傳感器種類非電阻型也是一類較為常見的半導(dǎo)體氣敏器件,，這類器件使用方便,，無需設(shè)置工作溫度，易于集成化,，得到了廣泛應(yīng)用,。主要有結(jié)型和mosfet型兩種。結(jié)型氣敏傳感器件又稱氣敏二極管,，這類氣敏器件是利用氣體改變二極管的整流特性來工作的,。其結(jié)構(gòu)如下圖左圖所示。它的原理是：---pd對氫氣具有選擇性,，它與半導(dǎo)體接觸形成接觸勢壘,。當(dāng)二極管加正向偏壓時，從半導(dǎo)體流向金屬的電子將增加,，因此正向是導(dǎo)通的,。



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