蘇州深鉑維溫控設(shè)備有限公司為您提供tcwafer熱偶,。tc wafer則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時測量,。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時,，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化,，例如：升溫，降溫過程及---周期等,！溫度的均勻與否,，良率
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