266nm紫外脈沖激光器
ll266-q
全固態(tài)266 nm的紫外激光器廣泛用于紫外光固化,,微電子,,光盤雕刻,激光---,,科學(xué)實驗等
波長wavelength (nm)
266±1
輸出功率 output power (mw)
1-200
線寬spectral linewidth (nm)
<3
工作方式 operating mode
脈沖
單脈沖能量(μj)
0.1~10
重復(fù)速率(khz)
可操控的
固定重復(fù)速率,,例如1k,2k,3k,4khz,穩(wěn)壓激光器脈沖發(fā)射(穩(wěn)定脈沖能量,峰值,持續(xù)時間和周期)。
不同的重復(fù)速率在1khz-4khz的范圍內(nèi)可以通過輸入一個外部ttl信號取得,。
不可操控的
在4k-10khz范圍內(nèi)不確定的重復(fù)速率和激光器不穩(wěn)定脈沖發(fā)射,。需要高峰值能量脈沖以適合應(yīng)用程序,。
光斑模式
beam mode
橫模 transverse
near te00
縱模 longitude
multi-longitude
偏振方式 polarization
line polarization
偏振比polarization ratio
>100:1
光束beam quality (m2 factor)
<20
光束發(fā)散角beam divergence (full angle, mrad)
~2.0
光束直徑beam diameter at aperture (mm)
2.0
光束指向穩(wěn)定性 beam pointing stabilitymrad
<0.05
功率穩(wěn)定性power stability (rms, over 8 hours)
<5%,<10%
振幅穩(wěn)定性noise of amplitude (p-p)/
噪聲值
<3%
出光孔高度 aperture position (mm)
25/45
激光頭
laser head
尺寸 dimensions (l×w×h, mm)
209 x 88x 74/204 x 78 x 63
重量 net weight (kg)
1.6/2.3
驅(qū)動電源
power driver
尺寸 dimensions (l×w×h, mm)
209 x 88 x 74
重量 net weight (kg)
2.3
電源型號integrated driver model
f-266
制冷方式cooling system
tec
預(yù)熱時間warm-up time (minutes)
<5
工作溫度operation temperature (℃)
10~35
使用壽命expected lifetime (hours)
>10000
保修期warranty time
1 year
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