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產(chǎn)品應(yīng)用：
該電爐采用紅外燈管加熱,，通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火,。也可用于快速熱退火,、
快速熱氧化,、快速熱氮化,、硅化物合金退火,、電極合金化、氧化物生長(zhǎng),、離子注入后退火,、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)

產(chǎn)品特點(diǎn)：
可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過(guò)快速移動(dòng)爐體，加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計(jì),，可對(duì)樣品進(jìn)行快速升降溫處理,；管內(nèi)測(cè)溫設(shè)計(jì)，
溫控精度高,---升溫速率50℃/s;緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì),，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能,，方便操作,。


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