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IV3Q12013T4Z碳化硅MOSFET

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IV2Q12080T4Z碳化硅MOSFET

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IV2Q12017T4Z碳化硅MOSFET

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多級脈沖電源

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高功率電源

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遠程等離子體源Remote Plasma Source,、RPS

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雙頻匹配器

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移動式射頻離子源系統(tǒng)

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40KHz中頻電源替換AE PEII

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ESC靜電卡盤電源

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IV3Q12013T4Z碳化硅MOSFET

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350KHz-450KHz低頻電源

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13.56MHz自動匹配器

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2MHz射頻電源

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13.56MHZ射頻電源大功率

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ABBIGBT模塊5SNG0255R170300

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無錫科微供應ABBIGBT模塊 5SNG0900R120500

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供應ABB IGBT 模塊 5SNG0600R170300

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