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上軸承為性磁懸浮軸承：無(wú)需清潔,、振動(dòng)小,、磨損低 配有手動(dòng)放氣閥可選配電磁閥,，用于全自動(dòng)放氣holweck拖曳分級(jí)技術(shù),，實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力差帶有吹掃口,，提供制程氣體稀釋?zhuān)员Ｗo(hù)電機(jī)和下軸承
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