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普發(fā)分子泵控制器--潽拓光電(商家)

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單級(jí)雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣,,其特點(diǎn)是把旋轉(zhuǎn)水環(huán)當(dāng)做活塞來改變泵腔的容積,,以達(dá)到吸氣、壓縮和排氣的目的,。它的零部件包括轉(zhuǎn)子葉輪,、泵殼、端板,、閥片,、軸承、進(jìn)排氣口、進(jìn)口單向閥,、軸端密封等,。通常情況下,云浮普發(fā)分子泵控制器,,軸端是密封的,,是利用帶水封環(huán)的填料進(jìn)行密封處理的,其中密封水是通過端板上的孔道導(dǎo)入導(dǎo)水封環(huán)位置的,。哪里有修真空泵的



pfeiffer tmh071 p渦輪分子泵大量用于pfeiffer,、agilentvarian、 ulvac,、inficon,、vst、abi,、shimadzu等分析設(shè)備及-檢儀中分析儀器如-質(zhì)譜檢漏儀,,及小型分子泵組中。德國普發(fā)pfeiffer tmh071 p分子泵進(jìn)氣法蘭口dn63 iso-kf/dn63 cf-f,,出氣法蘭口dn16iso-kf,,抽速可達(dá)到60l/s, 轉(zhuǎn)速為90000rpm,,-真空<1*10e8mbar; 對(duì)應(yīng)的控制器為pfeiffer tc600.



當(dāng)今,,現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中,越來越多地應(yīng)用渦輪分子泵,。如濺射,、刻蝕、蒸發(fā),、注入,、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行,。又如電子顯微鏡,,普發(fā)分子泵控制器燒壞,表面分析儀器,,殘余氣體分析儀及-質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空,。此外,在宇宙模擬設(shè)備,、核聚變裝置,、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng),以防止油蒸汽的污染,。因此,,z近十幾年來,,渦輪分子泵,在國內(nèi),、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展,。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級(jí)泵還沒有大量普及和應(yīng)用的情況下,有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來作渦輪分子泵的前級(jí)泵,。因此,,針對(duì)這種現(xiàn)狀,普發(fā)分子泵控制器價(jià)格,,對(duì)渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的,。

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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器油旋片真空泵

渦輪分子泵性能

泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級(jí)數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外,,還與氣體種類有關(guān),。分子量大的氣體有高的壓縮比。對(duì)氮(或空氣)的壓縮比為10~10;對(duì)氫為10~10;對(duì)分子量大的氣體如油蒸氣則大于10,。

泵的-壓力為10pa,,工作壓力范圍為10~10pa,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1l=10m),。



渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面zui大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的性,因此要求配有工作壓力為1~10pa的前級(jí)真空泵,。

分子泵本身由轉(zhuǎn)速為10000~60000轉(zhuǎn)/分的中頻電動(dòng)機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng),。




不要長時(shí)間在高壓力下工作

包括油旋片真空泵在內(nèi)的好多粗真空泵都可以從-壓直接啟動(dòng),但不代表它們可以長期在-壓或者比較差的真空下工作,。旋片真空泵長時(shí)間在比較差的真空度下工作時(shí),,普發(fā)分子泵控制器-,大量的潤滑油會(huì)以油霧甚至油滴的形式從排氣口噴出,,造成·泵油損失,;另外,真空度比較差時(shí),,真空泵-也會(huì)比較-,。

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pfeifer duoline旋片泵蓋了中低真空范圍(zui高為10-3 hpa)的所有應(yīng)用。即使對(duì)于像干燥工藝,、冶金工藝或樹脂究注系統(tǒng)等要求苛刻的工業(yè)應(yīng)用,,這些泵也能提供-的操作一作為單獨(dú)的泵,或者在我們的羅茨泵組或渦輪分子泵組中作為前級(jí)泵,。得益于其-性的驅(qū)動(dòng)器概念,,這些泵都被密封,使得它們清潔且與環(huán)境兼容,。由于磁耦合旋片泵沒有徑向軸密封件,,所以不存在油泄漏. 隔膜真空泵保養(yǎng)中心



真空泵維修:

真空泵全拆修叫做大修,,對(duì)采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵,其真空度仍低,、仍有滲漏等現(xiàn)象,;或者有些泵有下述現(xiàn)象之一者:

如泵發(fā)生“卡死”現(xiàn)象,油很臟而且泵內(nèi)已結(jié)了垢,,生了銹或用了不適當(dāng)?shù)挠褪箼C(jī)械泵內(nèi)部零部件上結(jié)了硬殼硅汕進(jìn)入機(jī)械泵內(nèi),,就可能產(chǎn)生這種情形,旋片有較大的撞擊聲,,泵腔內(nèi)落入異物金屬屑,、玻璃屑、銅屑等劃傷泵腔,,摩擦-溫升很厲害超過70℃等,,均需將真空泵全拆開進(jìn)行清洗修理。



根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類:

(1)一般水泵,,壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kpa(10~760mmhg)為粗真空,。

(2)油泵,壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3pa(0.001~1mmhg)為次高真空,。

(3)擴(kuò)散泵,,壓強(qiáng)可達(dá)0.133pa以下,(10-3mmhg)為高真空,。

若要較低的壓力,,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3pa(1mmhg)以下,。

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