-質(zhì)譜檢漏儀主要部件---真空泵的概述與分類

真空泵(vacuum pump)

利用機(jī)械,、物理、化學(xué),、物理化學(xué)等方法對(duì)容器進(jìn)行抽氣,，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設(shè)備(如真空容器,、真空閥,、真空測(cè)量?jī)x表、連接管路等)組成真空系統(tǒng),，廣泛應(yīng)用于電子,、冶金、化工,、食品,、機(jī)械、,、航天等部門,。

按其工作原理，基本-為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型,。

氣體輸送泵包括：1,、液環(huán)真空泵(水環(huán)真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4,、定片式真空泵5,、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7,、干式真空泵8,、羅茨真空泵9、分子真空泵10,、牽引分子泵11,、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13,、氣體噴射泵14,、蒸汽噴射泵15、擴(kuò)散泵等

氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等,。

目前工業(yè)中應(yīng)用較多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等,。

w型往復(fù)式真空泵( model w piston vacuum pump )是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工,，食品,，小型-質(zhì)譜檢漏儀廠家，建材等部門,，國產(chǎn)-質(zhì)譜檢漏儀,，-是在真空結(jié)晶，干燥,，過濾,，蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。

2x型旋片式真空泵( model 2x sliding vane rotary vacuum pump )

用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一,。它可以單獨(dú)使用,，也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵,、分子泵的前級(jí)泵使用,。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械,、電子,、化工、石油,、等行業(yè)的真空冶煉,、真空鍍膜,、真空熱處理,，真空干燥等工藝過程中。

2xz型旋片式真空泵( model2xz sliding vane rotary vacuum pump )

具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小,，真空-質(zhì)譜檢漏儀,，重量輕，噪音低,，振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn),。所以，它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵,，而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用,。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線,，真空冷凍干燥機(jī)等,。

xd型旋片式真空泵( model xd sliding vane rotary vacuum pump )

-質(zhì)譜檢漏儀的準(zhǔn)確性

一，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的自身要符合相關(guān)的要求,。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能自帶第三方的檢測(cè)-,。例如，美國計(jì)量院nist,；-計(jì)量院,，或有-的檢定機(jī)構(gòu)；德國的dkd等,。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要通過有標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定-的第三方,，進(jìn)行檢定。以此來-標(biāo)準(zhǔn)漏孔本身沒有問題,。

二,，標(biāo)準(zhǔn)漏孔要經(jīng)常檢定、校準(zhǔn),。建議每年進(jìn)行一次校準(zhǔn),。尤其是年泄漏率大的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，更是要注意,，經(jīng)常校準(zhǔn),。如果發(fā)現(xiàn)異常，要用外置漏孔校準(zhǔn),。

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