利用-氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體,，-氣在自然狀態(tài)下會向上垂直擴散,，系統(tǒng)檢漏，在被檢測的管道中注入-氣,。如果這些設(shè)備有漏點,，那么我們就能通過監(jiān)測儀器探測到有-氣在管道外部。這就是管道中-氣檢漏的方法,。
對于一些高的精尖的細小電子元件,，氣密性系統(tǒng)檢漏，-氣怎么檢漏呢,？將要檢測的元件放入充滿-氣的容器中并且加壓,。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點,，必然會有-氣通過這些小孔進入到元件內(nèi)部,。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留-氣吹掃干凈之后，再利用質(zhì)譜儀檢測元件表面泄露的-氣,�,？吹竭@里大家得注意，-氣的價格不菲,，進行一次-氣檢漏的費用自然不低,。
-氣怎么檢漏，-氣檢漏就是利用了-氣分子小能夠輕易進入那些不被肉眼察覺的孔縫中,，利用監(jiān)測儀器就能探測到孔縫中泄露出的-氣,。檢測時首先探測到-氣的點，得到-氣的水含量,，再利用色譜儀計算出氫氣,、氧氣、c02氣體等雜質(zhì),。-檢漏有兩種工藝,，一種是背壓法，另一種則是真空箱法,。
-質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的儀器,，今天科儀的小編就和大家來說一下，-質(zhì)譜檢漏儀的使用環(huán)境條件有哪些,，希望對您有所幫助,！
校準環(huán)境溫度為(23 ± 5) ℃ ，校準過程中室溫變化不超過± 1℃ ,，環(huán)境相對濕度不大于80% ,。
校準設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差,、氣流和強電磁場等外部干擾。
環(huán)境溫度較好控制在23℃ 附近,，因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃ ,。
(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,，會對檢漏工作造成較大干擾,，容易造成誤檢、誤判,。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見圖2),，位于隔熱板的上方：檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封,，檢漏儀在運輸過程中如遇到-震動,，此處容易造成密封膠開裂。各電磁閥與閥門組件間的連接部位,。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,，sf6充氣柜真空箱系統(tǒng)檢漏，橡膠圈的密封壽命有限,，使用5 年以上時,，有可能會存在密封失效的問題。各零部件接口處的密封部位,。如放大器與質(zhì)譜室,、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室,、標準漏孔與閥門組件,、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,，密封性系統(tǒng)檢漏，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近,，檢測時定位難度較大,。經(jīng)摸索,，在檢測時采用以下技巧,，可提高定位的能力：查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開，避免風(fēng)扇將-源吹散至各個密封環(huán)節(jié),，造成定位不準確,。噴吹時，要嚴格控制-源的流量,，盡量采用噴咀流量小的噴,，提高定位的能力。儀器的反應(yīng)時間小于1 s,，所以在一個部位噴吹的時間約3 s,，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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