特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用:晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用 到 pocl3 和 o2,減反射層 pecvd 工藝用到 sih4,、nh3,,刻蝕工藝用到 cf4;特種氣體分類:高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純 度的氣體,,工業(yè)特種氣體,,對于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,,大多用于-規(guī)模集成電路及分離器 件,、光電子等-領(lǐng)域,;特種氣體的重要性:正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大,應(yīng)用范圍廣的特點,。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與-性等等,。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“-”。
電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的-產(chǎn)業(yè),,由于所用氣體的品種多,、要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,,特種氣體,,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。有氣體倉庫貯存,。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔,, 避免陽光直射,, 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈kU標(biāo)記(例如,、,、有毒等) 。 特種氣體(spe-ltygases) 氣體工業(yè)名詞,,是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣,。
特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,,特種氣體廠,是隨著近年來工業(yè),、科學(xué)研究,、自動 化技術(shù)、精密檢測,,特種氣體價格,,-是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內(nèi),,存有內(nèi)容物時,,無論內(nèi)容量多少,在該容器儲存場地2m內(nèi),,嚴(yán)禁明火或放置燃,、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳,。特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和-性,。由于電子氣體用途多,,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和-性,,
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