-質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏,。逆擴(kuò)散原理如圖所示,。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的-氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測,。這一檢漏方式是基于分子泵對不同的氣體具有不同壓縮比氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計的,。
主要有離子源,、分析器,、收集放大器、冷陰極電離真空計組成,,離子源是氣體電離,,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個均勻的磁場空間,,不同離子的質(zhì)荷比不同,;在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進(jìn)行分離,再設(shè)計時只讓-離子飛出分析器的縫隙,;打在收集器上,,收集放大器收集-離子流并出入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率,。
1.為了正確使用-氣檢漏設(shè)備,,在充入檢漏氣體前有-對抽空樣品進(jìn)行預(yù)抽空,。如果在填充前沒有排空,試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端,,-氣檢漏設(shè)備中的氣體不能進(jìn)入該部分,,因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣,檢漏設(shè)備不能檢測到這些檢漏孔,。
2.-氣檢漏設(shè)備的泄漏孔通常很小或很窄,。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗前放在水箱中,這些泄漏孔或毛細(xì)管會被水堵塞或充滿,,從而大大影響檢漏結(jié)果,。
3.在填充檢漏氣體之前,有-快速測試是否有大的泄漏,。對大泄漏孔的一個簡單測試方法是在短時間內(nèi)抽空樣品并觀察抽空壓力,。如果樣品能夠保持抽空壓力,則表明沒有大的泄漏孔,,可以填充泄漏檢測氣體,。
4.如果氣密檢漏儀在運行過程中沒有在高壓下進(jìn)行泄漏測試,那么-氣檢漏設(shè)備就不能檢測到一些泄漏孔,。因此,,在檢漏過程中使用較高的測試壓力可以有效地檢測實際操作中沒有出現(xiàn)的泄漏孔,。
5.檢漏試驗中的可檢測泄漏率與檢漏氣體的背景濃度有很大關(guān)系,背景濃度越高,,波動越大,。如果泄漏測試后泄漏檢測氣體排放到泄漏檢測區(qū)域,背景濃度將在整個工作日持續(xù)增加,。此外,,在加注或排放過程中,-沒有氣體溢出,,密封性測漏系統(tǒng),,并定期檢查連接件是否有泄漏。
6.如果檢漏氣體泄漏-和氫,,它將像氣球一樣飛到檢漏區(qū)的室頂,,并逐漸漂浮在整個檢漏區(qū)。因此,,應(yīng)該為泄漏測試區(qū)域提供足夠的通風(fēng),。由于兩種泄漏檢測氣體都傾向于向上移動,因此建議從底部輸入新鮮空氣,,從頂部向外排放氣體,。
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