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產(chǎn)品配置：
★樣片數(shù)量及尺寸： 1片φ8英寸或5片φ4英寸或傘形工件架用戶定制
★蒸發(fā)材料：金屬,；非金屬；化合物等薄膜材料,。
★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng),。
★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)
★加熱：常規(guī)加熱
★電子槍：e型,，帶xy偏轉(zhuǎn)掃描
★電子槍坩堝：6穴,，17cc
★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制
★清洗功能：可選配離子源清洗
★器件一次成型復(fù)合實驗系統(tǒng)：通過復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對準系統(tǒng)，一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學特性的功能：可選配光控儀
★操作模式：全自動+半自動控制
以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司為您提供,，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。
★ 完全封閉的系統(tǒng)框架設(shè)計,，外觀更漂亮,，使用更安全；是一臺---美學和用戶操控體驗的全新升級產(chǎn)品,；
★ 前開門真空腔體,，方便取放基片、添加蒸發(fā)材料以及真空室的日常維護,；
★ 可定制一體化高的精度刻蝕掩膜板,；基片臺公轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0～25rpm連續(xù)可調(diào),；平板基底襯底可選擇加熱或水冷,；
★ ---的薄膜均勻性和重復(fù)性，采用進口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率,、膜厚,；
★ 可沉積金屬au，上海高真空電子束鍍膜機,， ag,， al， ti,，高真空電子束鍍膜機公司,， pt， mo,， fe,， cr， ni等,、化合物ito等及有機物材料進口電子槍,。
1,、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度：室溫-150℃,。在10-4pa時,，真空室內(nèi)殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上,，因此在該壓強下進行蒸鍍,，實際上相當于在水蒸汽中制膜，為了減少水份,，高真空電子束鍍膜機廠家,，提高真空室溫，使水分解,，是提高膜層的一種可行辦法,。
2、電控柜：標準電控柜,，組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制分子泵,、機械泵電源,、擋板等、數(shù)顯真空計等,。柜底下配腳輪,，高真空電子束鍍膜機，方便移動,、定位,。
3、手動按鈕式操作,，備留機電轉(zhuǎn)換及控制接口,，方便實驗記錄.
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