真空腔體烘烤時(shí)的真空度變化結(jié)果,，烘烤采用纏繞加熱帶的方式,。當(dāng)真空度達(dá)到約10-3 pa時(shí)，開始給加熱帶逐漸通電加熱,，保持腔體在150℃下進(jìn)---時(shí)間烘烤,。烘烤過程中關(guān)閉離子泵，同時(shí)也給離子泵通電進(jìn)行加熱烘烤,，這時(shí)的真空腔體只靠分子泵和前級(jí)泵來排氣,。隨著腔體溫度的升高，腔體內(nèi)表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出,，真空度會(huì)迅速惡化,。氣體的放出量隨著烘烤時(shí)間的延長而逐漸減少，因此真空度也逐步好轉(zhuǎn),。停止烘烤時(shí),，切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源，然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對(duì)鈦升華泵進(jìn)行除氣處理,。鈦升華泵的除氣處理是指給ti絲通電加熱,，但又控制溫度在ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物,，以---鈦升華泵的正常工作,。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后，啟動(dòng)離子泵和鈦升華泵,，加大真空排氣的力度,。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少，系統(tǒng)的真空度會(huì)迅速好轉(zhuǎn),。
新完成的腔體一次烘烤時(shí),，一般需要一周時(shí)間,，重復(fù)烘烤后單獨(dú)的烘烤時(shí)間可以適當(dāng)減少。為了地測量真空度,，訂制真空腔體價(jià)格,，停止烘烤后也應(yīng)該對(duì)真空計(jì)進(jìn)行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時(shí)間充足的話,，烘烤后真空度可提升幾個(gè)數(shù)量級(jí),。
看起來似乎很簡單,，但是這里有許多因素需要考慮,。實(shí)際上,，如果我們從物理學(xué)角度考慮，就可以明確哪些是關(guān)鍵因素,。真空腔體
在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下,，如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝)，抽氣管道任何截面的流量必須相同,。簡單而言,，進(jìn)入工藝室的氣體必須從泵出來。
已知?dú)怏w摩爾流量為m(公斤/摩爾),、抽氣速率為s(立方米/秒),、壓力為p(帕)、溫度為t(開爾文),，則流量計(jì)算如下：
流量(公斤/秒)=(m*p*s)/(ro*t)
ro=通用氣體常數(shù)
對(duì)于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言,，氣體溫度(t)在抽氣管道中不會(huì)---減少，而且可以合理地假定為恒定的,。
在此情況下,，抽氣管道任何截面(p*s)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體
由于抽氣管道的壓力差是氣體流動(dòng)的推動(dòng)力,，可見壓力(p)必須在工藝室中為高值,，在泵入口為低值。
由于我們假定通量恒定,，可見抽氣速率(s)在工藝室為小值,，在泵入口為大值(等于泵速)。
真空腔體真空是指低于---壓力的氣體的給定空間,，真空是相對(duì)于---壓來說的,，并非空間沒有物質(zhì)存在.
真空的屬性確實(shí)是需要用空間來描述，但只是種數(shù)學(xué)表示,，是為了方便研究才引入的參量,，并不是說真空的性質(zhì)取決于空間.
真空腔體是建立在低于---壓力的環(huán)境下，訂制真空腔體廠,，以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作,、科學(xué)試驗(yàn)和物理測量等所需要的技術(shù).
用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力，每立方厘米的空間里仍然會(huì)有數(shù)百個(gè)分子存在.
氣體稀薄程度是對(duì)真空的一種客觀量度,，直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù).氣體分子密度越小,，氣體壓力越低，真空就越高.真空常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位.
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