一種生長(zhǎng)氧化鋅晶體的方法,,在真空下,,通入保護(hù)氣,以氧化鋅的粉為粉源,,將氧化鋅的粉加熱使其升華為氣體,所述升華的氣體在溫度梯度作用下被輸運(yùn)到氧化鋅籽晶表面且結(jié)晶生長(zhǎng).采用升華法生長(zhǎng)氧化鋅晶體裝置,,加熱速度快,,生長(zhǎng)室容易達(dá)到高真空,可通過改變工藝條件實(shí)現(xiàn)對(duì)氧化鋅晶體尺寸,,生長(zhǎng)速度的控制,,銀川zno晶體,可獲得高大尺寸氧化鋅晶體;克服了現(xiàn)有技術(shù)生長(zhǎng)速率低的不足,,且工藝設(shè)備要求簡(jiǎn)單,,成本較低.
氧化鋅zno單晶是具有半導(dǎo)體、發(fā)光,、壓電,、電光等多種用途的功能晶體材料。不僅可用于制作紫外光電器件,也是高性1能的移動(dòng)通訊基片材料和優(yōu)1秀的閃爍材料,;此外,,氧化鋅zno與gan的晶格失配度---小,是gan外延生長(zhǎng)zui理想的襯底材料,。常見的氧化鋅zno屬六方晶系,,纖鋅礦結(jié)構(gòu),點(diǎn)群為6mm,,空間群為p6mc,,z=2,a=0.32488mm,,zno晶體基片,,c=0.51969mm。zno晶體中,,z離子和o離子沿c軸交替堆積,,(o001)面終結(jié)于正電荷z離子,(0001)面終結(jié)于負(fù)電荷o離子,,氧化鋅zno晶體,,因此,氧化鋅zno單晶具有極性,。
氧化鋅晶體作為新一代寬禁帶,、直接帶隙的多功能ⅱ-ⅵ族半導(dǎo)體材料,具有優(yōu)良的光電,、導(dǎo)電,、壓電、氣敏,、壓敏等特性,。zno半導(dǎo)體室溫帶隙為3.37ev,且束縛激子能---60mev,,使其在紫外半導(dǎo)體光電器件方---有很大潛在應(yīng)用價(jià)值,。制備難度和---的應(yīng)用前景使得氧化鋅晶體的生長(zhǎng)技術(shù)成為材料研究的---。氧化鋅晶體可控生長(zhǎng)的關(guān)鍵是控制成核和生長(zhǎng)過程,,而試驗(yàn)中各工藝參數(shù)決定著成核和生長(zhǎng)過程,,控制了氧化鋅晶體的尺寸。
|