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分子泵在半導(dǎo)體機(jī)械設(shè)備中的運(yùn)用
在半導(dǎo)體材料生產(chǎn)加工加工工藝中,，分子泵廣泛運(yùn)用于光刻技術(shù)、塑料薄膜堆積機(jī)器設(shè)備、離子注入機(jī)器設(shè)備,、離子注入機(jī)等主要設(shè)備,。agilent分子泵銷售維修中心
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光刻技術(shù)是生產(chǎn)制造規(guī)模性集成電路芯片的關(guān)鍵機(jī)器設(shè)備,，生產(chǎn)制造和維護(hù)保養(yǎng)必須高寬比的電子光學(xué)和電子工業(yè)基本,，全僅有數(shù)生產(chǎn)廠家把握，因而光刻機(jī)價(jià)格價(jià)格昂貴,。光刻技術(shù)光刻技術(shù)全過程務(wù)必在高真空中完成,，緣故是極紫外線很嬌氣，agilent分子泵銷售維修中心,，在空氣中非常容易耗損。另外,，在光刻技術(shù)全過程中,，機(jī)器設(shè)備的姿勢(shì)時(shí)間誤差以皮秒激光計(jì)，這對(duì)磁懸浮分子泵的震動(dòng)值規(guī)定---,。注：皮秒激光=兆分之一秒agilent分子泵銷售維修中心
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進(jìn)出口貿(mào)易法蘭盤、冷卻循環(huán)水安裝
,、泵通道：對(duì)正,、對(duì)稱性扭緊
、泵出入口：避免 移位
,、冷卻循環(huán)水：無滲水,；通道壓力0.2mpa；溫度20±５℃,；水體回應(yīng)無沉淀
留意：
工作溫度：風(fēng)冷式需低于32℃;水冷散熱能致40℃
通道氣體壓強(qiáng)：強(qiáng)制性風(fēng)冷式<0.1pa;當(dāng)然風(fēng)冷式<0.01pa,。agilent分子泵銷售維修中心
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電纜線安裝常見問題
,、對(duì)正槽孔---
,、用螺帽扭緊，邊插邊擰
,、查驗(yàn)及時(shí),。agilent分子泵銷售維修中心
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對(duì)軸承來說,，潤(rùn)滑是左右其性能的重要問題,。潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑方式的合適與否將---影響軸承的壽命。如果軸承用的是高品位的潤(rùn)滑脂在正常運(yùn)行條件下可運(yùn)行15000小時(shí)或兩年,。對(duì)電機(jī)功率大于18.5kw的水泵或在不利的條件下比如環(huán)境溫度高,、空氣濕度大、灰塵多、侵蝕性強(qiáng)的工業(yè)環(huán)境應(yīng)提前檢查軸承,，---時(shí)可安排5000小時(shí)更換一次潤(rùn)滑脂,。
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,、泵入口：對(duì)正,、對(duì)稱擰緊
、泵出口：防止錯(cuò)位
,、冷卻水：無漏水,；入口水壓0.2mpa；水溫20±５℃,；水質(zhì)澄清無沉淀
注意：環(huán)境溫度：風(fēng)冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口壓強(qiáng)：強(qiáng)制風(fēng)冷<0.1pa;自然風(fēng)冷<0.01pa
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