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分子泵在半導(dǎo)體機(jī)械設(shè)備中的運(yùn)用
在半導(dǎo)體材料生產(chǎn)加工加工工藝中，分子泵廣泛運(yùn)用于光刻技術(shù),、塑料薄膜堆積機(jī)器設(shè)備,、離子注入機(jī)器設(shè)備,、離子注入機(jī)等主要設(shè)備。安捷倫 tv301分子泵維修
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光刻技術(shù)是生產(chǎn)制造規(guī)模性集成電路芯片的關(guān)鍵機(jī)器設(shè)備,，生產(chǎn)制造和維護(hù)保養(yǎng)必須高寬比的電子光學(xué)和電子工業(yè)基本,，全僅有數(shù)生產(chǎn)廠家把握，因而光刻機(jī)價(jià)格價(jià)格昂貴,。光刻技術(shù)光刻技術(shù)全過(guò)程務(wù)必在高真空中完成,，緣故是極紫外線很嬌氣，在空氣中非常容易耗損,。另外,，在光刻技術(shù)全過(guò)程中，機(jī)器設(shè)備的姿勢(shì)時(shí)間誤差以皮秒激光計(jì),，這對(duì)磁懸浮分子泵的震動(dòng)值規(guī)定---,。注：皮秒激光=兆分之一秒安捷倫 tv301分子泵維修
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分子泵特點(diǎn)
油潤(rùn)滑分子泵：潤(rùn)滑油脂量小,，且在前面機(jī)械泵段,，對(duì)真空設(shè)備空氣污染小。
脂潤(rùn)滑分子泵：油脂量不大,，前相互配合比干泵可獲得相近無(wú)油真空泵的清除機(jī)械泵,。
全磁懸浮分子泵：無(wú)須潤(rùn)滑，與干泵一起運(yùn)用,，可獲得無(wú)油真空泵的清除真空泵,。安捷倫 tv301分子泵維修
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分子泵是應(yīng)用高速運(yùn)行的轉(zhuǎn)子把角動(dòng)量傳輸給氣體分子式,，安捷倫 tv301分子泵維修,，使之獲得定項(xiàng)速度，從而被變小,、被驅(qū)向排氣口后為前邊抽走的一種真空泵,。安捷倫 tv301分子泵維修
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分子泵啟動(dòng)的條件：
,、啟動(dòng)條件：連接無(wú)誤,、無(wú)漏、冷卻,、潤(rùn)滑、真空度
,、啟動(dòng)時(shí)間：
同時(shí)啟動(dòng)——小系統(tǒng),，防前級(jí)泵油上返。
---啟動(dòng)——系統(tǒng)容積過(guò)大,，先啟動(dòng)前級(jí)泵,，至系統(tǒng)壓強(qiáng)p=200pa時(shí)，啟動(dòng)分子泵,。
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傳動(dòng)膠帶不用時(shí),，應(yīng)把膠帶拆下，用溫水清洗擦干后保存在沒(méi)有陽(yáng)光直接照射的地方,，也不要存放在有油污,、腐蝕物及煙霧的地方。無(wú)論在何種情況下,，都不要使膠帶沾上機(jī)油,、柴油或等油類物質(zhì)，不要對(duì)膠帶涂松香和其他粘性的物質(zhì),。膠帶在使用前,，須清除膠帶接觸面的。
把所有螺釘,、螺栓用鋼絲刷刷洗干凈,，并涂上機(jī)油或浸在柴油中保存。
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