凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效,、中效,、高1效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理,，可采用亞高1效空氣過(guò)濾器代高1效空氣過(guò)濾器,。
空氣過(guò)濾器的選用布1高1效空氣過(guò)濾器或亞高1效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，連云港車(chē)間凈化,，高1效空氣過(guò)濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便---,，宜檢漏和更換；中效,、亞高1效,、高1效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用；阻力,、效率相近的高1效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一凈化車(chē)間內(nèi),。
確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車(chē)間空氣的潔凈度等級(jí),、面積,、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù),、無(wú)塵室或凈化車(chē)間面積較大時(shí),，位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng),。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí),，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在高1效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè),，并應(yīng)有防火安全措施,。
送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇，光伏車(chē)間凈化,，中效,、高1效空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。
凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外，應(yīng)采取防止室外污染空氣通過(guò)新風(fēng)口參入凈化車(chē)間內(nèi)的防灌倒措施,。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng),，凡工藝過(guò)程產(chǎn)生大量---且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或?qū)ζ渌ば蛴形：r(shí),，則不應(yīng)用回風(fēng),。
凈化工程中使用的慣性除塵器 為了---重力沉降室的除塵效果,，電子車(chē)間凈化,，可在其中設(shè)置各種形式擋板.利用塵粒的慣性使其和擋板發(fā)生碰撞而捕集，這種除塵器稱為慣性除塵器,。慣性除塵器的結(jié)構(gòu)形式分為碰撞式和回轉(zhuǎn)式兩類,。氣流在掩擊或方向轉(zhuǎn)變前速度愈高，方向轉(zhuǎn)變的曲率半徑愈小,，則除塵效率愈高,。
百葉窗式分離器也是一種慣性除塵器。含塵氣流進(jìn)人錐形的百葉窗分離器后,，大部分氣體從柵條之間縫隙流出,。氣流繞出柵條時(shí)突然改變方向，通訊車(chē)間凈化,，塵粒由于自身的慣性繼續(xù)保持直線運(yùn)動(dòng).隨部分氣流(約5一20％)一起進(jìn)入下部灰斗,，在重力和慣性力作用下，塵拉在灰斗中分離,。百葉窗分離器的主要優(yōu)點(diǎn)是外形尺寸小.阻力比旋風(fēng)除塵器小,。
慣性除塵器主要用于捕集20~30μm以上的粗大塵粒，常用作凈化工程中多級(jí)除塵器的di一級(jí)除塵,。
光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1,、凈化廠房墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,，其特點(diǎn)為美觀,、剛性強(qiáng)，圓弧墻角,、門(mén),、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2,、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級(jí)耐磨塑
3,、送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型pf發(fā)泡塑膠板,。
4,、高1效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,，不生銹不粘塵,，宜清潔。
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