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廣州潽拓,，愛德華分子泵控制器,，epx180l 半導體干式真空泵 epx180l維修保養(yǎng)

主要特性和優(yōu)勢

       占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一，epx ---節(jié)省了 占地面積,。鋁制構造使其重量輕巧,，增加了安裝 選項。epx 可以直接安裝到工具上,，從而節(jié)省了前級管道和 安裝成本,，如果需要也可遠程使用。

       受zhuanli保護的泵機構 - epx 可以從---壓抽空到 uhv 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運轉,。

          超清潔機構 - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑,，這可能成為制程 工具中污染源。epx 泵沒有高真空軸承油脂,，愛德華分子泵控制器電源,，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

非常--- - epx 具有大約 13 年的 mtbfp (semi e10),，通常 每 5 年維修一次,，zui大程度地延長了泵的 使用壽命。

        運轉時的噪聲低至 56 db(a),，可在潔凈室內實現(xiàn)低噪聲,。

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維修愛德華 edwards stp-a3003k1 渦輪真空泵

潽拓光電——代理及維修的分子泵維修品牌有：

法國阿爾卡特：alcatel adixen

英國愛德華：boc edwards  

日本精工,，島津,，大阪及荏原 ：  seiko seiki   shimadzu   osaka ebara

德國萊寶，普發(fā)：  oerlikon leybold       pfeiffer balazer  

意大利瓦里安：   varian  

我們具備完整的測試設備,，可以測試分子泵的啟動時間,，轉速，噪音,，---真空值,，滲漏率等相關數(shù)據(jù)，