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電子工業(yè)用超純水概述
半導(dǎo)體,、集成電路芯片及封裝,、液晶顯示,、---線路板,、光電器件,、各種電子器件,、微電子工業(yè),、-,、---規(guī)模集成電路需用大量的高純水,、超純水清洗半成品、成品,。集成電路的集成度越高,，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),，分別為18mω.cm,、15mω.cm、10mω.cm,、2mω.cm,、0.5mω.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程
電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種：
　　1,、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,，其基本工藝a程為：原水***沙炭過(guò)濾器***精密過(guò)濾器***原水箱***陽(yáng)床***陰床***混床復(fù)床***純水箱***純水泵***后置精密過(guò)濾器***用水點(diǎn)
　　2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式,，其基本工藝流程為：原水***沙炭過(guò)濾器***精密過(guò)濾器***原水箱***反滲透設(shè)備***混床復(fù)床***純水箱***純水泵***后置精密過(guò)濾器***用水點(diǎn)
　　3,、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子edi設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝,，也是一種,，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿?--的超純水制備工藝,，其基本工藝流程為：原水***沙炭過(guò)濾器***精密過(guò)濾器***原水箱***反滲透設(shè)備***電去離子edi***純水箱***純水泵***后置精密過(guò)濾器***用水點(diǎn)
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