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電子工業(yè)用超純水概述
半導體,、集成電路芯片及封裝、液晶顯示,、---線路板,、光電器件、各種電子器件,、微電子工業(yè),、-、---規(guī)模集成電路需用大量的高純水,、超純水清洗半成品,、成品。集成電路的集成度越高,,對水質(zhì)的要求也越高,。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)標準,分別為18mω.cm,、15mω.cm,、10mω.cm,、2mω.cm、0.5mω.cm,,以區(qū)分不同水質(zhì),。
制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程
電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,,其基本工藝a程為:原水***沙炭過濾器***精密過濾器***原水箱***陽床***陰床***混床復床***純水箱***純水泵***后置精密過濾器***用水點
2,、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水***沙炭過濾器***精密過濾器***原水箱***反滲透設備***混床復床***純水箱***純水泵***后置精密過濾器***用水點
3,、采用反滲透水處理設備與電去離子edi設備進行搭配的的方式,,這是一種制取超純水的工藝,也是一種,,經(jīng)濟,,發(fā)展?jié)摿?--的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水***沙炭過濾器***精密過濾器***原水箱***反滲透設備***電去離子edi***純水箱***純水泵***后置精密過濾器***用水點
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