光刻是整個集成電路制造過程中耗時長,、難度大的工藝,,耗時占ic制造50%左右,成本約占ic生產成本的1/3,。光刻膠是光刻過程重要的耗材,,光刻膠的對光刻工藝有著重要影響,。
光刻是將圖形由掩膜版上轉移到硅片上,,為后續(xù)的刻蝕步驟作準備。在光刻過程中,,需在硅片上涂一層光刻膠,,經(jīng)紫外線-后,光刻膠的化學性質發(fā)生變化,,在通過顯-,,被-的光刻膠將被去除,從而實現(xiàn)將電路圖形由掩膜版轉移到光刻膠上,。再經(jīng)過刻蝕過程,,實現(xiàn)電路圖形由光刻膠轉移到硅片上。在刻蝕過程中,,光刻膠起防腐蝕的保護作用,。
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根據(jù)化學反應機理和顯影原理的不同,,光刻膠可以分為負性膠和正性膠,。對某些溶劑可溶,但經(jīng)-后形成不可溶物質的是負性膠;反之,,對某些溶劑不可溶,,經(jīng)-后變成可溶的為正性膠。
從需求端來看,,光刻膠廠家,,光刻膠可分為半導體光刻膠、面板光刻膠和pcb光刻膠。其中,,半導體光刻膠的技術壁壘較高,。
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基于感光樹脂的化學結構,光刻膠可以分為三種類型,。
光聚合型,,采用烯類單體,在光作用下生成自由基,,自由基再進一步引發(fā)單體聚合,,然后生成聚合物,具有形成正像的特點,。
光分解型,,采用含有-醌類化合物的材料,經(jīng)光照后,,會發(fā)生光分解反應,,由油溶性變?yōu)樗苄裕梢灾瞥烧阅z,。
光交聯(lián)型,,采用-月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,,其分子中的雙鍵被打開,,并使鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián),黑龍江光刻膠,,形成一種不溶性的網(wǎng)狀結構,,而起到抗蝕作用,這是一種典型的負性光刻膠,。
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