又稱光致抗蝕劑,,是一種由感光樹脂、增感劑見光譜增料和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體,。
原理
光刻膠在接受一定波長的光或者射線時,會相應(yīng)的發(fā)生一種光化學(xué)反應(yīng)或者激勵作用,。光化學(xué)反應(yīng)中的光吸收是在化學(xué)鍵合中起作用的處于原子外層的電子由基態(tài)轉(zhuǎn)入激勵態(tài)時引起的,。對于有機物,基態(tài)與激勵態(tài)的能量差為3~6ev,,相當(dāng)于該能量差的光(即波長為0.2~0.4μm的光)被有機物-吸收,,使在化學(xué)鍵合中起作用的電子轉(zhuǎn)入激勵態(tài)�,;瘜W(xué)鍵合在受到這種激勵時,,或者分離或者改變鍵合對象,發(fā)生化學(xué)變化,。電子束,、x射線及離子束(即被加速的粒子)注入物質(zhì)后,因與物質(zhì)具有的電子相互作用,,能量逐漸消失,。電子束失去的能量轉(zhuǎn)移到物質(zhì)的電子中,因此生成激勵狀態(tài)的電子或二次電子或離子,。這些電子或離子均可誘發(fā)光刻膠的化學(xué)反應(yīng),。
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光刻膠是印刷線路板、顯示面板,、集成電路等電子元器件的上游,。光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋范圍非常廣,上游為基礎(chǔ)化工材料行業(yè),、精細化學(xué)品行業(yè),,中游為光刻膠制備,近紅外光刻膠價格,,下游為電子加工廠商,、各電子器產(chǎn)品應(yīng)用終端。由于上游產(chǎn)品直接影響下游企業(yè)的產(chǎn)品,,下業(yè)企業(yè)對公司產(chǎn)品的和供貨能力十分重視,,常采用采購的模式,,進入壁壘較高。
在下游半導(dǎo)體,、lcd,、pcb等行業(yè)需求持續(xù)擴大的拉動下,光刻膠市場將持續(xù)擴大,。2018年光刻膠市場規(guī)模為85億美元,,2014-2018年復(fù)合增速約5%。據(jù)ihs,,光刻膠價格,,未來光刻膠復(fù)合增速有望維持5%。按照下游應(yīng)用來看,,目前半導(dǎo)體光刻膠占比24.1%,,lcd 光刻膠占比26.6%,pcb 光刻膠占比24.5%,,其他類光刻膠占比24.8%,。
光刻是整個集成電路制造過程中耗時長、難度大的工藝,,耗時占ic制造50%左右,,玻璃光刻膠價格,成本約占ic生產(chǎn)成本的1/3,。光刻膠是光刻過程重要的耗材,,化學(xué)光刻膠價格,光刻膠的對光刻工藝有著重要影響,。
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