真空抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與工作原理

高真空卷繞鍍膜機(jī)的真空抽氣系統(tǒng)由卷繞室抽氣機(jī)組和鍍膜室抽氣機(jī)組組成。

卷繞室抽氣機(jī)組由1臺(tái)油增壓泵,、2臺(tái)羅茨泵,、1臺(tái)滑閥泵和1臺(tái)旋片泵組成，油增壓泵作為主泵,，以-在達(dá)到10-1pa的工作壓力下有較大的抽氣速率,；

鍍膜室抽氣機(jī)組由1臺(tái)油擴(kuò)散泵、1臺(tái)羅茨泵,、1臺(tái)滑閥泵和1臺(tái)旋片泵組成,，油擴(kuò)散泵作為主泵，以-鋁絲蒸發(fā)所需的10-2pa真空狀態(tài),。

真空抽氣系統(tǒng)由可編程plc集中控制,，在液晶觸摸屏上進(jìn)行操作，分為自動(dòng)控制和手動(dòng)控制兩種模式,。正常操作使用自動(dòng)模式,，plc將根據(jù)在真空計(jì)中設(shè)定的各級(jí)真空值對(duì)各臺(tái)真空泵的啟動(dòng)或停止、閥門的開(kāi)啟或關(guān)閉等功能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制,。手動(dòng)控制模式主要供調(diào)試和檢修時(shí)使用,，可以實(shí)現(xiàn)單獨(dú)開(kāi)閉各泵和閥門的操作。

真空管道上的閥門均為氣動(dòng)控制閥,，并采用電磁換向閥控制其開(kāi)啟或關(guān)閉,，閥門上的氣缸配有位置信號(hào)開(kāi)關(guān)，方便控制系統(tǒng)對(duì)閥門的狀態(tài)實(shí)施監(jiān)控,。

在羅茨泵與滑閥泵的連接管道上裝有氣動(dòng)充氣閥,，可供滑閥泵停止時(shí)向泵腔內(nèi)充入-之用，其開(kāi),、閉動(dòng)作與滑閥泵聯(lián)動(dòng),，由可編程plc控制其滯后或提前的時(shí)間。

鍍膜室抽氣方閥上裝有氣動(dòng)放氣閥,，供卷繞結(jié)束時(shí)卷繞車退出前向真空室內(nèi)充入-之用,，其開(kāi)啟動(dòng)作和時(shí)間長(zhǎng)短由可編程plc控制。

各個(gè)真空管道上裝有真空測(cè)量規(guī)管座以提供可編程plc和真空計(jì)所需的真空壓力信號(hào),，同時(shí)為維修,、檢測(cè)真空系統(tǒng)各管道的壓力提供方便。

齒輪傳動(dòng)真空鍍膜機(jī)

齒輪傳動(dòng)真空鍍膜機(jī)制備的硬質(zhì)涂層可降低滑動(dòng)磨損由混合摩擦引起,、刮傷潤(rùn)滑膜的位置或低周邊速度過(guò)載的位置,、點(diǎn)蝕齒輪齒表面的抗壓強(qiáng)度太低的位置，甚至在要求嚴(yán)格的條件下例如在運(yùn)動(dòng)中,，硬質(zhì)涂層的齒輪傳動(dòng)元件不但仍能運(yùn)轉(zhuǎn)更-,，而且其性能也更進(jìn)了一步。真空鍍室的真空密封和室內(nèi)運(yùn)動(dòng)部件的設(shè)計(jì)和用材,，充分考慮可承受高溫,，配置多只園形電弧蒸發(fā)源，或配多個(gè)矩形平面電弧蒸發(fā)源,，也可配多只空心陰極槍,，同時(shí)配置耐沖擊的、具有優(yōu)異滅閃弧性能的偏壓電源,，-足夠等離子體密度和反應(yīng)活性,，提高膜層致密性和結(jié)合力。工件可三維運(yùn)動(dòng),，提高膜層均勻性,。全自動(dòng)控制提高工藝穩(wěn)定性。