真空鍍膜機(jī)真空器件的常用檢漏方法 依據(jù)電真空器材的結(jié)構(gòu)特色及丈量精度要求,,常用的有兩種檢漏辦法,,即---罩法和噴吹法這兩種檢漏辦法具體介紹可見:---罩法和噴吹法的---質(zhì)譜檢漏儀檢漏常見辦法。檢漏時(shí),,先用---罩法進(jìn)行總漏率的測(cè)定,,當(dāng)總漏率超出答應(yīng)值后再用噴吹法進(jìn)行漏孔的認(rèn)位。---罩法是被檢件與檢漏儀銜接抽真空到達(dá)檢漏狀況后,,用一個(gè)充溢---氣的查驗(yàn)罩,,把被檢件全體或部分的表面面包圍起來,如圖4所示,。查驗(yàn)罩充---時(shí)先將罩內(nèi)空氣排出再充---,,以---罩內(nèi)---濃度盡可能挨近100百分之,被檢件---何地方有走漏,。檢漏儀都會(huì)有漏率值改變,,顯示出漏率值。---罩時(shí)刻也要繼續(xù)3~5倍檢漏儀呼應(yīng)時(shí)刻,。asm192t2---質(zhì)譜檢漏儀反應(yīng)時(shí)刻小于0.5s,因而---罩時(shí)刻30s即可,。---罩法可方便地測(cè)定被檢件總漏率,不會(huì)漏掉任何一處漏點(diǎn),,但不能確認(rèn)漏孔方位,。噴吹法是將被檢件與儀器的真空體系相連,,對(duì)被檢件抽真空后用噴槍向漏孔處吹噴---氣。當(dāng)有漏孔存在時(shí),,---氣就經(jīng)過漏孔進(jìn)入質(zhì)譜儀被檢測(cè)出,,噴吹法彌補(bǔ)了---罩法不能定位的缺點(diǎn)。
真空鍍膜機(jī)中鎢絲的注意事項(xiàng):鎢在常溫下有較好的耐酸,、堿能力,,但在潮濕的空氣中易被氧化,,所以細(xì)鎢絲不能在潮濕環(huán)境中貯存過久,。另外鎢在1200℃上下就開始與碳起反應(yīng)生成鎢的碳化物,所以對(duì)燈絲的燒氫處理要注意這個(gè)問題,,否則鎢與其表面的石墨潤滑劑起反應(yīng),,則燈絲就要變脆斷裂。鎢絲一旦經(jīng)高溫使用發(fā)生再結(jié)晶以后就變得很脆,,在受沖擊或震動(dòng)的情況下極易斷裂,。在一些要求高---性的電光源產(chǎn)品中,為防止燈絲的斷裂,,常在摻雜鎢絲中加入3~5%的錸,,稱為鎢錸絲,它可以使鎢的延脆轉(zhuǎn)變溫度下降到室溫或室溫以下,。這是一種很奇特的錸效應(yīng),,至今還未發(fā)現(xiàn)一種元素能代替錸,在鎢中產(chǎn)生同樣效應(yīng),。
實(shí)驗(yàn)室中使用小型鍍膜設(shè)備我們?cè)趯?shí)驗(yàn)室中使用的基本上都是小型的鍍膜設(shè)備,,下面我們就來了解一下這種設(shè)備。用作真空蒸發(fā)鍍的裝置稱為蒸發(fā)鍍膜機(jī),。蒸發(fā)鍍膜機(jī)主要由真空室,、排氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和電氣設(shè)備四部分組成,。真空室是放置鍍件,、進(jìn)行鍍膜的場(chǎng)所,直徑一般為400~700mm,,高400~800mm,,用不銹鋼或碳鋼制作,有水冷卻裝置,。真空中制備膜層可防止膜料和鍍件表面的污染,,消除空間碰撞,提高鍍層的致密性和可制備單一化合物的特殊功能的鍍層,。為了提高鍍層厚度的均勻性,,真空室內(nèi)的鍍件夾具有行星機(jī)構(gòu)或自轉(zhuǎn)加公轉(zhuǎn)的運(yùn)動(dòng)裝置,,如用行星運(yùn)動(dòng)方式,這種運(yùn)動(dòng)方式成膜均勻性好,,臺(tái)階覆蓋性能---,,鍍件裝載量大,可以充分利用真空鍍膜室的有效空間,,是目前經(jīng)常采用的運(yùn)動(dòng)方式,。排氣系統(tǒng)一般由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵,、管道和閥門組成,。為了提高抽氣速率,可在機(jī)械泵和擴(kuò)散泵之間加機(jī)械增壓泵,。因此,,排氣系統(tǒng)既要求在較短的時(shí)間內(nèi)獲得低氣壓以---快速的工作循環(huán),也要求---在蒸氣鍍膜時(shí)迅速排除從蒸發(fā)源和工作物表面所產(chǎn)生的氣體,。
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