超精密加工的發(fā)展經歷了三個階段。

20世紀50年代至80年代為技術期,。20世紀50年代末,，出于航天、等技術發(fā)展的需要,，美國發(fā)展了超精密加工技術,，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削技術，又稱為“微英寸技術”,，用于加工激光核聚變反射鏡及載人飛船用球面,、非球面大型零件等。從1966年起,，精密加工廠家,，美國的unioncarbide公司,、荷蘭philips公司和美國lawrencelivemorelaboratories陸續(xù)推出

　　各自的超精密金剛石車床，但其應用限于少數(shù)大公司與研究單位的試驗研究,，并以用途或科學研究用途的產品加工為主,。這一時期，金剛石車床主要用于銅,、鋁等軟金屬的加工,，也可以加工形狀較復雜的工件，但只限于軸對稱形狀的工件例如非球面鏡等,。