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光刻開始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應(yīng)用,。 圖形能被映射到光刻膠上,，然后用一個developer就能做出需要的模板圖案。 光刻膠又稱光致抗蝕劑，以智能管感光材料,，在光的照射與溶解度發(fā)生變化,。
光刻膠成份
光刻膠通常有三種成分:感光化合物、基體材料和溶劑,。在感光化合物中有時還包括增感劑,。根據(jù)光刻膠按照如何響應(yīng)紫外光的性可以分為兩類:負(fù)性光刻膠和正性光刻膠。
1,、負(fù)性光刻膠
主要有聚酯膠和環(huán)化橡膠系兩大類,，前者以柯達(dá)公司的kpr為代表，nr29 25000p光刻膠價格,，后者以omr系列為代表,。
2、正性光刻膠
主要以-醌為感光化合物,，以酚醛樹脂為基體材料,。常用的有az- 1350系列。正膠的主要優(yōu)點是分辨率高,，缺點是靈敏度,、而刻蝕性和附著性等較差。
光刻膠的特點
1,、在光的照射下溶解速率發(fā)生變化,，利用-區(qū)與非-區(qū)的溶解速率差來實現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移;
2、溶解抑制/溶解促進(jìn)共同作用;
3,、作用的機(jī)理因光刻膠膠類型不同而不同;
光刻加工工藝中為了圖形轉(zhuǎn)移,，輻照必須作用在光刻膠上，通過改變光刻膠材料的性質(zhì),，使得在完成光刻工藝后,，光刻版圖形被拷貝在圓片的表面。而加工前,，如何選用光刻膠在很大程度上已經(jīng)決定了光刻的精度,。盡管正性膠的分辨力是較好的，但實際應(yīng)用中由于加工類型,、加工要求,、加工成本的考慮，需要對光刻膠進(jìn)行合理的選擇,。
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光刻是將圖形由掩膜版上轉(zhuǎn)移到硅片上,，為后續(xù)的刻蝕步驟作準(zhǔn)備。在光刻過程中,，需在硅片上涂一層光刻膠,，nr29 25000p光刻膠公司，經(jīng)紫外線-后,，光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,，在通過顯-，被-的光刻膠將被去除,，從而實現(xiàn)將電路圖形由掩膜版轉(zhuǎn)移到光刻膠上,。再經(jīng)過刻蝕過程，實現(xiàn)電路圖形由光刻膠轉(zhuǎn)移到硅片上,。在刻蝕過程中,，光刻膠起防腐蝕的保護(hù)作用。
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