成都超邁光電科技有限公司為您提供鐘罩磁控濺射鍍膜機,。主體結(jié)構(gòu),。全封閉框架結(jié)構(gòu)，真空室為上提拉方式,，機柜和主機為分體式。
真空度,�,！�5×10－5pa空載、經(jīng)充分烘烤除氣并充干燥氮氣,，漏率：優(yōu)于1x10-7pa.l/s,壓升率優(yōu)于---標準,。
真空配置。高速直聯(lián)旋片泵一臺,，抽速大于8l/s,，配置尾氣處理裝置。分子泵一臺,，抽速1200l/s,。
真空測量。兩路電阻規(guī),，一路電離規(guī),；電阻規(guī)和電離規(guī)均采用防爆型金屬封結(jié)真空規(guī)。
工件架系統(tǒng),。7工位2英寸行星工件盤,，6個在圓周上，1個放置在工件盤中心,，可用于共濺射,，中心工位設置加熱臺，采用pid控制可烘烤加熱到700℃,。工件盤由減速電機驅(qū)動,。
磁控濺射系統(tǒng),。配置3個φ50mm可折疊磁控靶可擴展至4靶機構(gòu)，安裝真空室底部,，向上濺射成膜,；每只靶和基片件距離手動可調(diào)；靶內(nèi)均通入冷卻水冷卻,。
電源 ,。2套直流電源； 1套5全固態(tài)射頻電源,；,；一套200w直流偏壓電源；
充氣系統(tǒng),。配置三路供氣,，二路分別配置流量控制器，線性±0.5 % f.s,，重復精度±0.2% f.s,，0-5v輸出，在觸摸屏上設置流量,。
電氣控制系統(tǒng),。采用功能化模塊設計，可選配西門子人機界面+西門子控制單元,，濺射時間可以設定并---,，能夠根據(jù)工藝需求自動濺射。
可選配置：在線膜厚監(jiān)控系統(tǒng),；垂直濺射與共濺射兼容,；基片烘烤溫度至800攝氏度，滿足部分材料的真空原位退火或氣氛保護退火的需要,；蒸發(fā)鍍膜與磁控濺射兼容,；干式無油潔凈真空系統(tǒng)；在線離子轟擊清洗,；自動擋板和手動擋板,；直流電源射頻電源的組合形式。
---說明：根據(jù)用戶不同的工況和工藝要求,，公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā),，共享---，公司致力于工藝與設備的---匹配,。

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