成都超邁光電科技有限公司為您提供電磁耦合磁控濺射鍍膜機,。設(shè)備主要由真空腔體,、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng),、烘烤系統(tǒng),、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng),、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成,，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制,。
真空腔體：φ900x1050,，雙層水冷；可根據(jù)實際需求定制
真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統(tǒng),；
真空抽速：4000-7000l/s,，進口全量程復合真空計，全金屬防爆真空規(guī),；
磁控靶組件：4個矩形靶,，4個圓柱靶，根據(jù)客戶實際需要匹配中頻,、射頻,、脈沖直流濺射電源；
離子源：2套線性離子源,，匹配---電源,；
氣路：4路反應(yīng)氣體，進口流量計,，1路毛細保護氣路,；
烘烤溫度：400℃,，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu),；
工件盤：導軌多工位行星工件盤2套標準配置為12工位和24工位,，可擴展數(shù)百件工件共同沉積，工件盤裝夾移動小車一輛,；
控制系統(tǒng)：西門子plc+西門子人機界面+工業(yè)控制計算機,。
---說明：該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制，獲得---科技進步,、---科技發(fā)明獎,、機械工業(yè)科技進步一等獎和中科院重大設(shè)備專項等-，公司提供一攬子技術(shù)解決方案,，同時與合作伙伴共享---,。

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