成都超邁光電科技有限公司為您提供ebpvd復(fù)合鍍膜機(jī),。形式：箱式一體機(jī)，立式前開門,，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,，一體機(jī)系統(tǒng)。
真空系統(tǒng)：真空5x10-4pa,，主泵為復(fù)合分子泵,。
真空測量：配三路數(shù)字復(fù)合真空計(jì)，均采用安全防爆金屬測量規(guī),。
工件架系統(tǒng),。客戶需求定制,，配置可擴(kuò)展4英寸,、3英寸、2英寸基片的---互換工裝,，轉(zhuǎn)速3～30rpm變頻可調(diào),，工件盤為球形和行星工件盤可選,，行星工件盤成本較高。
烘烤系統(tǒng),。不銹鋼鎧裝加熱器匹配數(shù)字功率控制器和pid控制模塊,，烘烤溫度300℃，溫控精度1℃,，過沖不超過2℃,。
電子束蒸發(fā)源。e型電子束蒸發(fā)源系統(tǒng)(e型)1套,，主體有屏蔽罩,，單槍、單電源,、單掃描,，配置獨(dú)立高壓控制柜。選配或必須配置
坩堝：坩堝1套,，電動轉(zhuǎn)位和點(diǎn)動轉(zhuǎn)位,，配置無氧銅坩堝一套。
電阻蒸發(fā)源：2套電阻蒸發(fā)源,。選配或主配
膜厚測試系統(tǒng),。配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統(tǒng)， rs-232 和 usb兼容,，匹配水冷膜厚探頭,。選配
離子源:一套選配離子源或高壓離子轟擊系統(tǒng)
控制系統(tǒng)：成熟---的真空鍍膜控制系統(tǒng)，西門子工業(yè)級10英寸觸摸屏和plc,，能夠?qū)崿F(xiàn)抽真空,、工轉(zhuǎn)烘烤、自動充氣,、自動鍍膜,、自動冷卻放氣等鍍膜生產(chǎn)流程；支持半自動和手動等鍍膜操作方式,。水,、電、氣路有故障自動報(bào)警和保護(hù)系統(tǒng),，采用聲光報(bào)警,。
說明：根據(jù)用戶要求，公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā),，共享---,，公司致力于工藝與設(shè)備---匹配
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