成都超邁光電科技有限公司為您提供復(fù)合磁控濺射鍍膜機(jī),。設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng),、工件盤(pán)系統(tǒng),、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng),、過(guò)渡倉(cāng),、磁力機(jī)械手、離子轟擊系統(tǒng),、充氣系統(tǒng)和在線測(cè)量系統(tǒng)組成,，同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制,。
真空腔體：φ650x700雙層水冷,；可根據(jù)實(shí)際需求定制
真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng)；
真空抽速：1600l/s,，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì),，全金屬防爆真空規(guī)；
磁控靶組件：4個(gè)矩形靶,，3個(gè)圓形靶,，根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻,、脈沖直流濺射電源,；
離子源：1套線性離子源，匹配---電源,；
氣路：4路反應(yīng)氣體,，進(jìn)口流量計(jì)，1路毛細(xì)保護(hù)氣路,；
烘烤溫度：300℃,，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu),；
工件盤(pán)：導(dǎo)軌多工位行星工件盤(pán)2套,，工件盤(pán)裝夾移動(dòng)小車一輛；
控制系統(tǒng)：西門子plc+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)
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